各ウェハー製品仕様

ダストフリーウェハー
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項目Unit仕様
サイズinch23456812
製法-CZ / FZ
タイプ-P or N
ドーパント-B / P / As / Sb / ノンドープ
結晶方位-
厚みμm280380525525/625625725775
厚み公差μm20202525252525
抵抗値Ω・cm0.001~10000Ω
オリフラ-○/ノッチノッチ
パーティクルLv0.3μm以上10個以下(≧0.3μm ≦10ea)
面状態-片面ミラー両面ミラー
数量lot25枚
梱包形態-ウェハーケース+クリーンパック
備考-*高精度ウェハーお問い合わせください。
*低パーティクルウェハーお問い合わせください。
*各種膜付けお問い合わせください。

ダミーウェハー

項目Unit仕様
サイズinch23456812
タイプ-P or N / 不問
結晶方位-
厚みμm280380525525/625625725775
厚み公差μm20202525252525
抵抗値Ω・cm不問
オリフラ-ノッチノッチ
パーティクルLv不問
面状態-片面ミラー両面ミラー
数量lot25枚
梱包形態-コインロール(重ね合わせ)
備考--

SOIウェハー

項目Unit仕様
サイズinch234568
活性層Unit仕様
製法-CZ / FZ
タイプ・導電型-P / N / ノンドープ
ドーパント-B / P / As / Sb
結晶方位-

厚みμm1.5-500
抵抗値Ω·cm0.001至10000Ω
埋め込み酸化膜μm0.05〜10
支持基盤-仕様
製法LvCZ / FZ
タイプ・導電型-P / N / ノンドープ
ドーパント-B / P / As / Sb
結晶方位-

厚みμmJEITA・SEMI標準 / 100 ~ 2000
抵抗値Ω・ cm0.01〜10000Ω
備考Ω・ cm*製法やドーパントの種類によって対応できる値が異なります

Wafer Dimension Specification SEMI-JEIDA 比較表

                        
DIAMETERDimensionSEMI50.8-76.280 90 100 125150200
JEIDA 50 60 76 - 90 100 125 150 200



ToleranceSEMI 0.38 - 0.63 - 0.5 0.5 0.2 0.2 0.2



JEIDA 0.5 0.5 0.50.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5



THICKNESSDimensionSEMI0.279-0.3810.4 0.475 0.52 0.6250.6250.6750.725
JEIDA 0.28 0.33 0.38- 0.475 0.525 0.625 0.625 0.725



ToleranceSEMI 0.025 - 0.025 0.025 0.025 0.02 0.02 0.02 0.02



JEIDA 0.010 0.015 0.015 - 0.025 0.015 0.0150.0150.025



PRIMARYDimensionSEMI15.88 - 22.22 22 27 32.5 42.5 57.5 57.5


FLAT LENGTHJEIDA 17.5 20 22 - 27 32.5 42.5 47.5 57.5



ToleranceSEMI1.65 - 3.17 3 3 2.5 2.5 2.5 2.5



JEIDA 2.52.52.5- 2.5 2.5 2.5 2.5 2.5


SECONDARYDimensionSEMI8 - 11.18 11.5 13.5 18 27.5 37.5 NO 2nd flat


FLAT LENGTHJEIDA ---- - - - - -


BOW MAXDimensionSEMI0.038 - 0.04 0.04 0.04 0.04 0.040.060.065


JEIDA ---- - - - - -


TOTAL THICKNESSDimensionSEMI0.012 - 0.025 0.025 0.025 0.01 0.010.01 0.01


VARIATIONJEIDA 0.015 0.02 0.025 - 0.025 0.025 0.025 0.025 0.025


PROFILEDimensionSEMI0.093      - 0.127 0.133 0.158 0.175 0.208 0.208 0.225 0.242


VARIATION---- - - - - --


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